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扫描电镜聚焦粒子束系统SEMFIB
2025-05-29
微析研究院
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电镜类仪器
扫描电镜聚焦粒子束系统（SEMFIB）是一种先进的微观分析与加工设备，它结合了扫描电镜（SEM）的高分辨率成像和聚焦离子束（FIB）的微纳加工能力。可对材料进行精细观察、剖析及微纳尺度的加工操作。
在材料科学领域，可用于分析各类新型材料的微观结构，像研究金属合金、陶瓷、高分子材料等内部的晶体结构、相分布等，助力材料性能优化。
在半导体产业中，能对芯片进行高精度的缺陷检测与修复。比如定位并修复芯片电路中的短路、断路等故障，保障芯片质量。
在生物医学方面，可用于观察生物样本的超微结构，如细胞、组织的精细形态，还能对生物样本进行定点切割、取样等操作，辅助医学研究。
在考古学领域，能够对文物的微观结构进行无损探测，清晰呈现文物的材质、制作工艺等细节，为考古研究提供有力依据。
其具有超高的分辨率，能够清晰分辨出纳米级甚至更小尺度的物体细节，为微观研究提供精准图像。
具备精准的微纳加工能力，可以按照设定要求对材料进行高精度的切割、沉积、蚀刻等操作，加工精度可达纳米级别。
可实现原位观察与加工的同步进行，在对材料进行加工处理的过程中，能实时观察材料的变化情况，便于及时调整加工策略。
系统具有较好的稳定性，能长时间稳定运行，保证在复杂的分析与加工任务中持续、可靠地工作。
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