国家标准介绍

基础信息

标准号：GB/T 44514-2024发布日期：2024-09-29实施日期：2024-09-29标准类别：方法中国标准分类号：L59国际标准分类号：31.080.99 归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会执行单位：全国微机电技术标准化技术委员会主管部门：国家标准委

采标情况

本标准等同采用IEC国际标准：IEC 62047-31:2019。采标中文名称:半导体器件 微机电器件 第31部分：层状MEMS材料界面结合能的四点弯曲试验方法。

起草单位

北京自动化控制设备研究所中机生产力促进中心有限公司山东中康国创先进印染技术研究院有限公司西安交通大学深圳市速腾聚创科技有限公司安徽奥飞声学科技有限公司天津新智感知科技有限公司山东中科思尔科技有限公司明石创新（烟台）微纳传感技术研究院有限公司合肥美的电冰箱有限公司北京晨晶电子有限公司苏州大学中国科学院空天信息创新研究院无锡华润上华科技有限公司航天长征火箭技术有限公司华东电子工程研究所（中国电子科技集团公司第三十八研究所）苏州和林微纳科技股份有限公司

起草人

王永胜曹诗亮刘韧汤一王志广陈德勇张鲁宇鲁毓岚郑冬琛路文一商艳龙李帆雅尚克军李根梓毛志平孙立宁杨旸要彦清张新伟安志武陈得民张红旗钱晓晨高峰

相近标准(计划)

GB/T 42895-2023 微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法GB/T 44842-2024 微机电系统（MEMS）技术 薄膜材料的弯曲试验方法GB/T 44839-2024 微机电系统（MEMS）技术 MEMS材料微柱压缩试验方法20243541-T-469 微机电系统（MEMS）技术 溶液浓度测定的MEMS流体器件光学吸收试验方法20242021-T-469 微机电系统（MEMS）技术MEMS电容式麦克风性能试验方法20240910-T-469 微机电系统（MEMS）技术 微机电固态材料线性热膨胀系数测试方法20242020-T-469 微机电系统（MEMS）技术 MEMS磁场传感器技术规范20242839-T-469 微机电系统（MEMS）技术 柔性微机电器件循环弯曲变形后电气特性测试方法GB/T 42896-2023 微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法20243539-T-469 微机电系统（MEMS）技术 MEMS驻极体式振动能量收集器性能测试方法