国家标准介绍

基础信息

标准号：GB/T 44517-2024发布日期：2024-09-29实施日期：2025-04-01标准类别：方法中国标准分类号：L59国际标准分类号：31.080.99 归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会执行单位：全国微机电技术标准化技术委员会主管部门：国家标准委

采标情况

本标准等同采用IEC国际标准：IEC 62047-16:2015。采标中文名称:半导体器件 微机电器件 第16部分：MEMS膜残余应力试验方法 晶圆曲率和悬臂梁挠度试验方法。

起草单位

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起草人

马卓标李根梓余庆孙立宁孙旭辉胡永刚宏宇王雄伟董显山杨旸汤一兰之康李海全万蔡辛曹诗亮谢波王军波梁先锋杨绍松许磊钱峰周再发张森张红旗黄晟张胜兵高峰陈林

相近标准(计划)

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