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纳米技术 光栅的描述、测量和尺寸质量参数
2025-05-29
微析研究院
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国家标准
国家标准《纳米技术 光栅的描述、测量和尺寸质量参数》由TC279（全国纳米技术标准化技术委员会）归口，主管部门为中国科学院。
主要起草单位中国计量科学研究院、北京大学、清华大学、苏州苏大维格科技集团股份有限公司、广纳四维（广东）光电科技有限公司。
主要起草人李伟 、李适 、朱振东 、李群庆 、陈林森 、李晓军 、高思田 、李琪 、施玉书 、黄鹭 、史瑞 、乔文 、华鉴瑜 。
标准号：GB/Z 43684-2024发布日期：2024-03-15实施日期：2024-10-01标准类别：方法中国标准分类号：L04国际标准分类号：07.120 归口单位：全国纳米技术标准化技术委员会执行单位：全国纳米技术标准化技术委员会主管部门：中国科学院
本标准等同采用IEC国际标准：IEC TS 62622:2012。采标中文名称:纳米技术 人造光栅的描述，测量和尺寸质量参数。
中国计量科学研究院清华大学广纳四维（广东）光电科技有限公司北京大学苏州苏大维格科技集团股份有限公司
李伟李适陈林森李晓军施玉书黄鹭华鉴瑜朱振东李群庆高思田李琪史瑞乔文
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