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氮化铝材料中痕量元素（镁、镓）含量及分布的测定 二次离子质谱法
2025-05-29
微析研究院
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国家标准
国家标准《氮化铝材料中痕量元素（镁、镓）含量及分布的测定 二次离子质谱法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。
主要起草单位北京科技大学、中国科学院半导体研究所、有色金属技术经济研究院有限责任公司、中国科学院青海盐湖研究所、青海圣诺光电科技有限公司。
主要起草人齐俊杰 、魏学成 、闫丹 、李素青 、卫喆 、胡超胜 、李志超 、许磊 、王军喜 、李晋闽 、魏明 、刘江华 、张成荣 。
标准号：GB/T 42274-2022发布日期：2022-12-30实施日期：2023-04-01标准类别：方法中国标准分类号：H17国际标准分类号：77.040 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门：国家标准委
北京科技大学有色金属技术经济研究院有限责任公司青海圣诺光电科技有限公司中国科学院半导体研究所中国科学院青海盐湖研究所
齐俊杰魏学成卫喆胡超胜王军喜李晋闽张成荣闫丹李素青李志超许磊魏明刘江华
GB/T 39144-2020 氮化镓材料中镁含量的测定 二次离子质谱法YS/T 474-2021 高纯镓化学分析方法痕量元素的测定电感耦合等离子体质谱法YS/T 474-2005 高纯镓化学分析方法 痕量元素的测定 电感耦合等离子体质谱法YS/T 1654-2023 氮化镓化学分析方法 痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法YS/T 980-2014 高纯三氧化二镓杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法20240364-T-606 复合肥料中钙、镁、硫含量的测定GB/T 42263-2022 硅单晶中氮含量的测定二次离子质谱法GB/T 20127.3-2006 钢铁及合金痕量元素的测定第3部分：电感耦合等离子体发射光谱法测定钙、镁和钡含量NB/SH/T 0892-2015 中间馏分燃料中痕量元素的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法GB/T 20127.11-2006 钢铁及合金痕量元素的测定第11部分：电感耦合等离子体质谱法测定铟和铊含量
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