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硅多晶真空区熔基硼检验方法
2025-05-29
微析研究院
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国家标准
国家标准《硅多晶真空区熔基硼检验方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。
主要起草单位江苏中能硅业科技发展有限公司、亚洲硅业（青海）有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、峨嵋半导体材料研究所。
主要起草人胡伟 、刘晓霞 、耿全荣 、鲁文锋 、王桃霞 、胡自强 、宗冰 、肖建忠 、万烨 、杨旭 。
标准号：GB/T 4060-2018发布日期：2018-09-17实施日期：2019-06-01全部代替标准：GB/T 4060-2007标准类别：方法中国标准分类号：H17国际标准分类号：77.040 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门：国家标准委
江苏中能硅业科技发展有限公司洛阳中硅高科技有限公司亚洲硅业（青海）有限公司峨嵋半导体材料研究所
胡伟刘晓霞王桃霞胡自强万烨杨旭耿全荣鲁文锋宗冰肖建忠
GB/T 4059-2018 硅多晶气氛区熔基磷检验方法20231109-T-469 太阳能级硅多晶GB/T 35309-2017 用区熔法和光谱分析法评价颗粒状多晶硅的规程YS/T 1061-2024 硅多晶用硅芯GB/T 29057-2023 用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程GB/T 4061-2009 硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法JB/T 12981-2016 超硬磨料 金属加工用多晶立方氮化硼YS/T 724-2016 多晶硅用硅粉HG 2274-1992 钙镁磷肥用硅镁质半自熔性磷矿JB/T 10553-2006 真空技术 扩散硅压阻真空计
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