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电子工业用气体 三氟甲烷

2025-05-29

微析研究院

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国家标准

国家标准《电子工业用气体 三氟甲烷》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准委。

主要起草单位国家化学工业气体产品质量监督检验中心(福建)、广东华特气体股份有限公司、浙江巨化股份有限公司、高麦仪器公司、浙江省化工研究院、中昊光明化工研究设计院有限公司、大连大特气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、东莞市联臣电子科技有限公司、天津长芦华信化工股份有限公司、西南化工研究设计院有限公司。

主要起草人陈熔 、林宇巍 、傅铸红 、杜汉盛 、叶红艳 、牛艳东 、史婉君 、孙福楠 、曲庆 、方华 、王鸿 、崔学文 、周朋云 。

国家标准介绍

基础信息

标准号:GB/T 34085-2017发布日期:2017-07-31实施日期:2017-11-01标准类别:产品中国标准分类号:G86国际标准分类号:71.100.20 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门:国家标准委

起草单位

国家化学工业气体产品质量监督检验中心(福建)浙江巨化股份有限公司浙江省化工研究院大连大特气体有限公司东莞市联臣电子科技有限公司西南化工研究设计院有限公司广东华特气体股份有限公司高麦仪器公司中昊光明化工研究设计院有限公司上海华爱色谱分析技术有限公司天津长芦华信化工股份有限公司

起草人

陈熔林宇巍叶红艳牛艳东曲庆方华周朋云傅铸红杜汉盛史婉君孙福楠王鸿崔学文

相近标准(计划)

GB/T 43976-2024 电子气体 四氟甲烷GB/T 7371-1987 工业用一氟三氯甲烷 (F11)HG/T 4634-2014 工业用二氟甲烷(HFC-32)HG 2823-1997 一氟三氯甲烷包装钢桶DB36/T 385-2002 三氟甲烷(HFC-23)洁净气体灭火系统设计、施工、验收规范DB45/T 88-2003 三氟甲烷(HFC-23)洁净气体灭火系统设计施工及验收规范GB/T 7372-1987 工业用二氟二氯甲烷 (F12)GB/T 14603-2009 电子工业用气体三氟化硼GB 6051-1985 三氟一溴甲烷灭火剂 (1301灭火剂)GB/T 40418-2021 电子特气 氟甲烷

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