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电子工业用气体 硅烷
2025-05-29
微析研究院
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国家标准
国家标准《电子工业用气体 硅烷》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。
主要起草单位西南化工研究设计院有限公司、浙江赛林硅业有限公司、广东华特气体股份有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、高麦仪器公司、天津长芦华信化工股份有限公司、大连大特气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海计量测试研究院、化工气体质检中心、江苏中能硅业科技发展有限公司、浙江中宁硅业有限公司、南京亚格泰新能源材料有限公司、浙江大学、安徽省滁州市硅谷特种气体有限公司。
主要起草人余京松 、杨智敏 、傅铸红 、杜汉盛 、孙福楠 、牛艳东 、李长富 、周朋云 、曲庆 、方华 、陈鹰 、常侠 、刘晓霞 、周延江 、高平洲 、徐昕 。
标准号：GB/T 15909-2017发布日期：2017-05-31实施日期：2017-12-01全部代替标准：GB/T 15909-2009标准类别：产品中国标准分类号：G86国际标准分类号：71.100.20 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委
西南化工研究设计院有限公司广东华特气体股份有限公司高麦仪器公司大连大特气体有限公司上海计量测试研究院江苏中能硅业科技发展有限公司南京亚格泰新能源材料有限公司安徽省滁州市硅谷特种气体有限公司浙江赛林硅业有限公司中昊光明化工研究设计院有限公司天津长芦华信化工股份有限公司上海华爱色谱分析技术有限公司化工气体质检中心浙江中宁硅业有限公司浙江大学
余京松杨智敏孙福楠牛艳东曲庆方华刘晓霞周延江傅铸红杜汉盛李长富周朋云陈鹰常侠高平洲徐昕
HG/T 5895-2022 工业用混合气体 硅烷/氮气GB/T 38866-2020 电子工业用二氯硅烷20231313-T-606 工业用二甲基二氯硅烷20232465-T-469 电子级四甲基硅烷GB/T 16942-2009 电子工业用气体氢SJ/T 11517-2015 电子工业用气体 一氧化碳GB/T 33774-2017 电子工业用气体 丙烯GB/T 14601-2009 电子工业用气体氨GB/T 16945-2009 电子工业用气体氩GB/T 14604-2009 电子工业用气体氧
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