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蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法

2025-05-29

微析研究院

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国家标准

国家标准《蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准委。

主要起草单位协鑫光电科技控股有限公司、中国科学院上海光机所、浙江昀丰新能源科技有限公司。

主要起草人魏明德 、黄朝晖 、刘逸枫 、杭寅 、徐永亮 。

国家标准介绍

基础信息

标准号:GB/T 30857-2014发布日期:2014-07-24实施日期:2015-04-01标准类别:方法中国标准分类号:H21国际标准分类号:77.040 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门:国家标准委

起草单位

协鑫光电科技控股有限公司浙江昀丰新能源科技有限公司中国科学院上海光机所

起草人

魏明德黄朝晖徐永亮刘逸枫杭寅

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