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太阳能电池用硅片厚度及总厚度变化测试方法
2025-05-29
微析研究院
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国家标准
国家标准《太阳能电池用硅片厚度及总厚度变化测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。
主要起草单位东方电气集团峨嵋半导体材料有限公司、有研半导体材料股份有限公司、乐山新天源太阳能科技有限公司、青洋电子材料有限公司。
主要起草人何紫军 、冯地直 、程宇 、黎阳 、陈琳 、荆旭华 、刘卓 。
标准号：GB/T 30869-2014发布日期：2014-07-24实施日期：2015-02-01标准类别：方法中国标准分类号：H21国际标准分类号：77.040 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门：国家标准委
东方电气集团峨嵋半导体材料有限公司乐山新天源太阳能科技有限公司有研半导体材料股份有限公司青洋电子材料有限公司
何紫军冯地直陈琳荆旭华程宇黎阳刘卓
GB/T 6618-2009 硅片厚度和总厚度变化测试方法GB/T 29507-2013 硅片平整度、厚度及总厚度变化测试自动非接触扫描法GB/T 30867-2014 碳化硅单晶片厚度和总厚度变化测试方法GB/T 30857-2014 蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法SJ/T 11628-2016 太阳能电池用硅片尺寸及电学表征在线测试方法SJ/T 11630-2016 太阳能电池用硅片几何尺寸测试方法SJ/T 11631-2016 太阳能电池用硅片外观缺陷测试方法SJ/T 11632-2016 太阳能电池用硅片微裂纹缺陷的测试方法SJ/T 11627-2016 太阳能电池用硅片电阻率在线测试方法GB/T 30860-2014 太阳能电池用硅片表面粗糙度及切割线痕测试方法
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