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半导体生产设施电磁兼容性要求
2025-05-29
微析研究院
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国家标准
国家标准《半导体生产设施电磁兼容性要求》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。
主要起草单位工业和信息化部电子工业标准化研究院、安徽鑫阳电子有限公司。
主要起草人黄英华 、谭建国 、刘军 、周历群 、钟华 、冯亚彬 。
标准号：GB/T 30116-2013发布日期：2013-12-17实施日期：2014-04-15标准类别：基础中国标准分类号：L95归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委
工业和信息化部电子工业标准化研究院安徽鑫阳电子有限公司
黄英华谭建国钟华冯亚彬刘军周历群
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