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光伏电池用硅材料表面金属杂质含量的电感耦合等离子体质谱测量方法
2025-05-29
微析研究院
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国家标准
国家标准《光伏电池用硅材料表面金属杂质含量的电感耦合等离子体质谱测量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。
主要起草单位信息产业专用材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、江苏中能硅业科技发展有限公司、国家电子功能与辅助材料质量监督检验中心、天津市环欧半导体材料技术有限公司。
主要起草人褚连青 、王奕 、徐静 、王鑫 、何秀坤 、裴会川等 。
标准号：GB/T 29849-2013发布日期：2013-11-12实施日期：2014-04-15标准类别：方法中国标准分类号：H82国际标准分类号：29.045 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委
信息产业专用材料质量监督检验中心江苏中能硅业科技发展有限公司天津市环欧半导体材料技术有限公司中国电子技术标准化研究院国家电子功能与辅助材料质量监督检验中心
褚连青王奕何秀坤裴会川徐静王鑫
GB/T 31854-2015 光伏电池用硅材料中金属杂质含量的电感耦合等离子体质谱测量方法GB/T 29851-2013 光伏电池用硅材料中B、Al受主杂质含量的二次离子质谱测量方法GB/T 29852-2013 光伏电池用硅材料中P、As、Sb施主杂质含量的二次离子质谱测量方法YB/T 4590-2017 硅材料用高纯石墨制品中杂质含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法YS/T 1164-2016 硅材料用高纯石英制品中杂质含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法20250729-T-469 碳化硅晶片表面杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法GB/T 24582-2023 多晶硅表面金属杂质含量测定酸浸取-电感耦合等离子体质谱法YS/T 1601-2023 六氯乙硅烷中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法SN/T 4240-2015 电子电气产品 金属部件表面镀镍层中铅、镉含量测定 电感耦合等离子体质谱法YS/T 980-2014 高纯三氧化二镓杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
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