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300mm 硅单晶抛光片
2025-05-29
微析研究院
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国家标准
国家标准《300mm 硅单晶抛光片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。
主要起草单位有研半导体材料股份有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所。
主要起草人闫志瑞 、孙燕 、盛方毓 、卢立延 、张果虎 、向磊 。
标准号：GB/T 29506-2013发布日期：2013-05-09实施日期：2014-02-01标准类别：产品中国标准分类号：H82国际标准分类号：29.045 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委
有研半导体材料股份有限公司中国有色金属工业标准计量质量研究所
闫志瑞孙燕张果虎向磊盛方毓卢立延
GB/T 29504-2013 300mm 硅单晶GB/T 44375-2024 300mm半导体设备装载端口要求GB/T 29508-2013 300mm 硅单晶切割片和磨削片20250822-T-469 200mm碳化硅单晶抛光片20240494-T-469 碳化硅单晶抛光片堆垛层错测试方法SJ/T 11502-2015 碳化硅单晶抛光片规范GB/T 12964-2018 硅单晶抛光片GB/T 30656-2023 碳化硅单晶抛光片SJ/T 11504-2015 碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法JB/T 2436.2-1994 导线用铜压接端头 第2部分:10～300mm导线用铜压接端头
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