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硅压阻式压力敏感芯片
2025-05-29
微析研究院
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国家标准
国家标准《硅压阻式压力敏感芯片》由604-1（中国机械工业联合会）归口，主管部门为中国机械工业联合会。
主要起草单位沈阳仪表科学研究院、传感器国家工程研究中心、国家仪器仪表元器件质量监督检验中心、昆山双桥传感器测控技术有限公司等。
主要起草人唐慧 、刘沁 、徐秋玲 、于振毅 、张治国等 。
标准号：GB/T 28856-2012发布日期：2012-11-05实施日期：2013-02-15标准类别：产品中国标准分类号：N05国际标准分类号：17.100 归口单位：中国机械工业联合会执行单位：中国机械工业联合会主管部门：中国机械工业联合会
沈阳仪表科学研究院国家仪器仪表元器件质量监督检验中心传感器国家工程研究中心昆山双桥传感器测控技术有限公司等
唐慧刘沁张治国徐秋玲于振毅
20242019-T-469 微机电系统（MEMS）技术 MEMS硅压阻温压复合压力传感器芯片GB/T 33922-2017 MEMS压阻式压力敏感芯片性能的圆片级试验方法JB/T 10524-2005 硅压阻式压力传感器GB/T 26807-2011 硅压阻式动态压力传感器GB/T 42191-2023 MEMS压阻式压力敏感器件性能试验方法JB/T 11206-2011 硅压阻式微型、薄型压力传感器JB/T 12937-2016 压阻式陶瓷压力传感器SJ/T 10429-1993 压阻式压力传感器总规范SJ/T 10430-1993 压阻式压力传感器空白详细规范JB/T 10553-2006 真空技术 扩散硅压阻真空计
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