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离子束蚀刻机通用规范
2025-05-29
微析研究院
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国家标准
国家标准《离子束蚀刻机通用规范》由339-1（工业和信息化部（电子））归口，主管部门为工业和信息化部（电子）。
主要起草单位中国电子科技集团公司第四十八研究所。
主要起草人陈特超 、周大良 。
标准号：GB/T 15861-2012发布日期：2012-11-05实施日期：2013-02-15全部代替标准：GB/T 15861-1995标准类别：产品中国标准分类号：L97归口单位：工业和信息化部（电子）执行单位：工业和信息化部（电子）主管部门：工业和信息化部（电子）
中国电子科技集团公司第四十八研究所
陈特超周大良
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微析研究所总部位于北京，拥有数家国内检测、检验（监理）、认证、研发中心，1家欧洲（荷兰）检验、检测、认证机构，以及19家国内分支机构。微析研究所拥有35000+平方米检测实验室，超过2000人的技术服务团队。
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