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表面化学分析 二次离子质谱 用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度
2025-05-29
微析研究院
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国家标准
国家标准《表面化学分析 二次离子质谱 用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度》由TC608（全国表面化学分析标准化技术委员会）归口，主管部门为中国科学院。
主要起草单位清华大学电子工程系。
主要起草人查良镇 、陈旭 、黄雁华 、王光普 、黄天斌 、刘林等 。
标准号：GB/T 20176-2006发布日期：2006-03-27实施日期：2006-11-01标准类别：方法中国标准分类号：N33国际标准分类号：71.040.40 归口单位：全国表面化学分析标准化技术委员会执行单位：全国表面化学分析标准化技术委员会主管部门：中国科学院
本标准等同采用ISO国际标准：ISO 14237:2000。采标中文名称:表面化学分析二次离子质谱用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度。
清华大学电子工程系
查良镇陈旭黄天斌刘林黄雁华王光普
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