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关键尺寸（CD）计量方法
2025-05-29
微析研究院
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国家标准
国家标准《关键尺寸（CD）计量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC4（全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分会）执行，主管部门为国家标准委。
主要起草单位中国科学院微电子中心。
标准号：GB/T 17864-1999发布日期：1999-09-13实施日期：2000-06-01标准类别：方法中国标准分类号：L56国际标准分类号：31.200 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分会主管部门：国家标准委
本标准等同采用其他国际标准：SEMI P24:1994。采标中文名称:。
中国科学院微电子中心
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