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硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范
2025-05-29
微析研究院
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国家标准
国家标准《硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。
主要起草单位长沙韶光微电子总公司。
标准号：GB/T 16527-1996发布日期：1996-09-09实施日期：1997-05-01标准类别：产品中国标准分类号：L90国际标准分类号：31.200 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委
本标准等效采用其他国际标准：SEMI P3:1990。采标中文名称:。
长沙韶光微电子总公司
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