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确定晶片坐标系规范
2025-05-29 15:08:32
微析研究院
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国家标准
国家标准《确定晶片坐标系规范》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。
主要起草单位有色金属技术经济研究院、有研半导体材料有限公司、浙江海纳半导体有限公司、浙江省硅材料质量检验中心、上海合晶硅材料有限公司。
主要起草人卢立延 、孙燕 、潘金平 、杨素心 、楼春兰 、胡金枝 、李素青 。
标准号：GB/T 16596-2019发布日期：2019-03-25实施日期：2020-02-01全部代替标准：GB/T 16596-1996标准类别：基础中国标准分类号：H80国际标准分类号：29.045 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门：国家标准委
有色金属技术经济研究院浙江海纳半导体有限公司上海合晶硅材料有限公司有研半导体材料有限公司浙江省硅材料质量检验中心
卢立延孙燕楼春兰胡金枝潘金平杨素心李素青
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