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蓝宝石单晶晶向测定方法
2025-05-29
微析研究院
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国家标准
国家标准《蓝宝石单晶晶向测定方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准委。
主要起草单位中国科学院上海光学精密机械研究所、丹东新东方晶体仪器有限公司、深圳市中安测标准技术有限公司、东莞市华源光电科技有限公司。
主要起草人杭寅 、甄伟 、尹继刚 、赵松彬 、洪佳琪 、张连翰 、张毅 、刘卫卫 。
标准号:GB/T 34210-2017发布日期:2017-09-07实施日期:2018-06-01标准类别:方法中国标准分类号:H21国际标准分类号:77.040 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门:国家标准委
中国科学院上海光学精密机械研究所深圳市中安测标准技术有限公司丹东新东方晶体仪器有限公司东莞市华源光电科技有限公司
杭寅甄伟洪佳琪张连翰尹继刚赵松彬张毅刘卫卫
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