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光掩模石英玻璃基板
2025-05-29
微析研究院
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国家标准
国家标准《光掩模石英玻璃基板》由TC447（全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会）归口，主管部门为中国建筑材料联合会。
主要起草单位中国建材检验认证集团股份有限公司、中建材衢州金格兰石英有限公司、长沙韶光铬版有限公司、中国建筑材料科学研究总院、国家安全玻璃及石英玻璃质量监督检验中心。
主要起草人吴洁 、王京侠 、王友军 、李弋舟 、花宁 、刘焕敏 、肖颂华 、聂兰舰 、张浩运 、杨晓会 、杨学东 、孔敏 、张应语 。
标准号：GB/T 34178-2017发布日期：2017-09-07实施日期：2018-08-01标准类别：产品中国标准分类号：Q35国际标准分类号：81.040.30 归口单位：全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会执行单位：全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会主管部门：中国建筑材料联合会
中国建材检验认证集团股份有限公司长沙韶光铬版有限公司国家安全玻璃及石英玻璃质量监督检验中心中建材衢州金格兰石英有限公司中国建筑材料科学研究总院
吴洁王京侠花宁刘焕敏张浩运杨晓会张应语王友军李弋舟肖颂华聂兰舰杨学东孔敏
GB/T 16523-1996 圆形石英玻璃光掩模基板规范GB/T 15871-1995 硬面光掩模基板GB/T 16524-1996 光掩模对准标记规范GB/T 16880-1997 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则SJ/T 31080-2016 光掩模制作用图形发生器完好要求和检查评定方法GB/T 17866-1999 掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则20242164-T-609 光刻用掺钛石英玻璃20204845-T-339 嵌入式基板测试方法20220107-T-339 刚性有机封装基板规范SJ/T 11863-2022 单片超大尺寸掩模板装载盒规范
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