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氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法
2025-05-29
微析研究院
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国家标准
国家标准《氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。
主要起草单位中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、苏州纳维科技有限公司、中国科学院物理研究所、北京天科合达蓝光半导体有限公司、丹东新东方晶体仪器有限公司。
主要起草人邱永鑫 、任国强 、刘争晖 、曾雄辉 、王建峰 、陈小龙 、王文军 、郑红军 、徐科 、赵松彬 。
标准号：GB/T 32188-2015发布日期：2015-12-10实施日期：2016-11-01标准类别：方法中国标准分类号：H21国际标准分类号：77.040 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所中国科学院物理研究所丹东新东方晶体仪器有限公司苏州纳维科技有限公司北京天科合达蓝光半导体有限公司
邱永鑫任国强王建峰陈小龙徐科赵松彬刘争晖曾雄辉王文军郑红军
GB/T 34612-2017 蓝宝石晶体X射线双晶衍射摇摆曲线测量方法GB/T 41751-2022 氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径测试方法YS/T 1653-2023 氮化镓衬底片SJ/T 11396-2009 氮化镓基发光二极管蓝宝石衬底片GB/T 37053-2018 氮化镓外延片及衬底片通用规范GB/T 36705-2018 氮化镓衬底片载流子浓度的测试 拉曼光谱法GB/T 32282-2015 氮化镓单晶位错密度的测量阴极荧光显微镜法GB/T 32189-2015 氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法20231111-T-469 半导体单晶材料透过率测试方法20231108-T-469 碳化硅单晶片微管密度测试方法
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