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椭圆偏振仪测量硅表面上二氧化硅薄层厚度的方法
2025-05-29
微析研究院
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国家标准
国家标准《椭圆偏振仪测量硅表面上二氧化硅薄层厚度的方法》由TC279（全国纳米技术标准化技术委员会）归口，主管部门为中国科学院。
主要起草单位上海交通大学、纳米技术及应用国家工程研究中心。
主要起草人金承钰 、李威 、梁齐 、路庆华 、何丹农 、张冰 。
标准号：GB/T 31225-2014发布日期：2014-09-30实施日期：2015-04-15标准类别：方法中国标准分类号：J04国际标准分类号：17.040.01 归口单位：全国纳米技术标准化技术委员会执行单位：全国纳米技术标准化技术委员会主管部门：中国科学院
上海交通大学纳米技术及应用国家工程研究中心
金承钰李威何丹农张冰梁齐路庆华
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