网站首页 标准依据 国家标准 硅外延用三氯氢硅化学分析方法 硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定 电感耦合等离子体质谱法

硅外延用三氯氢硅化学分析方法 硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定 电感耦合等离子体质谱法

2025-05-29

微析研究院

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国家标准

国家标准《硅外延用三氯氢硅化学分析方法 硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定 电感耦合等离子体质谱法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准委。

主要起草单位南京中锗科技股份有限公司、南京大学现代分析中心、南京大学国家863计划新材料MO源研究开发中心。

主要起草人郑华荣 、刘新军 、龚磊荣 、张莉萍 、黄和明 、陈逸君等 。

国家标准介绍

基础信息

标准号:GB/T 29056-2012发布日期:2012-12-31实施日期:2013-10-01标准类别:方法中国标准分类号:L90国际标准分类号:31-030 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门:国家标准委

起草单位

南京中锗科技股份有限公司南京大学国家863计划新材料MO源研究开发中心南京大学现代分析中心

起草人

郑华荣刘新军黄和明陈逸君龚磊荣张莉萍

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