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硅外延用三氯氢硅化学分析方法 硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定 电感耦合等离子体质谱法
2025-05-29
微析研究院
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国家标准
国家标准《硅外延用三氯氢硅化学分析方法 硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定 电感耦合等离子体质谱法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准委。
主要起草单位南京中锗科技股份有限公司、南京大学现代分析中心、南京大学国家863计划新材料MO源研究开发中心。
主要起草人郑华荣 、刘新军 、龚磊荣 、张莉萍 、黄和明 、陈逸君等 。
标准号:GB/T 29056-2012发布日期:2012-12-31实施日期:2013-10-01标准类别:方法中国标准分类号:L90国际标准分类号:31-030 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门:国家标准委
南京中锗科技股份有限公司南京大学国家863计划新材料MO源研究开发中心南京大学现代分析中心
郑华荣刘新军黄和明陈逸君龚磊荣张莉萍
SN/T 2953-2023 生铁中硅、铬、锰、磷、钼、镍、钛、钒、钨、铜、铝、锑的测定 电感耦合等离子体发射光谱法SN/T 5255-2020 煤中铅、镉、砷、汞、铜、铬、镍、锰、钡、硒、锌、锡、钛、锑、钴、铝、铍、钒、银、钼含量的测定电感耦合等离子体质谱法YS/T 568.13-2023 氧化锆、氧化铪化学分析方法第13部分:氧化铪中硼、钠、镁、铝、硅、钙、钛、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、锌、锆、铌、钼、镉、锡、锑、钽、钨、铅、铋含量的测定电感耦合等离子体质谱法YS/T 902-2013 高纯铼及铼酸铵化学分析方法 铍、钠、镁、铝、钾、钙、钛、铬、锰、铁、钴、镍、铜、锌、砷、钼、镉、铟、锡、锑、钡、钨、铂、铊、铅、铋量的测定 电感耦合等离子体质谱法YB/T 4908.2-2021 钒铝合金硅、铁、磷、硼、铬、镍、钨、铜、锰、钼含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法YS/T 568.12-2022 氧化锆、氧化铪化学分析方法第12部分:氧化锆中硼、钠、镁、铝、硅、钙、钛、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、锌、钼、镉、铪、铅、铋含量的测定电感耦合等离子体质谱法XB/T 617.3-2014 钕铁硼合金化学分析方法 第3部分:硼、铝、铜、钴、镁、硅、钙、钒、铬、锰、镍、锌和镓量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法YS/T 833-2020 铼酸铵化学分析方法铍、镁、铝、钾、钙、钛、铬、锰、铁、钴、铜、锌、钼、铅、钨、钠、锡、镍、硅量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法YS/T 1198-2017 银化学分析方法 铜、铋、铁、铅、锑、钯、硒、碲、砷、钴、锰、镍、锡、锌、镉量的测定 电感耦合等离子体质谱法YS/T 1085-2015 精炼镍 硅、锰、磷、铁、铜、钴、镁、铝、锌、铬含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法
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