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硅单晶抛光试验片规范
2025-05-29
微析研究院
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国家标准
国家标准《硅单晶抛光试验片规范》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。
主要起草单位宁波立立电子股份有限公司、杭州海纳半导体有限公司。
主要起草人宫龙飞 、何良恩 、许峰 、黄笑容等 。
标准号：GB/T 26065-2010发布日期：2011-01-10实施日期：2011-10-01标准类别：产品中国标准分类号：H80国际标准分类号：29.045 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委
宁波立立电子股份有限公司杭州海纳半导体有限公司
宫龙飞何良恩许峰黄笑容
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