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化合物半导体抛光晶片亚表面损伤的反射差分谱测试方法
2025-05-29
微析研究院
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国家标准
国家标准《化合物半导体抛光晶片亚表面损伤的反射差分谱测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。
主要起草单位中国科学院半导体研究所。
主要起草人陈涌海 、赵有文 、提刘旺 、王元立 。
标准号：GB/T 26070-2010发布日期：2011-01-10实施日期：2011-10-01标准类别：方法中国标准分类号：H17国际标准分类号：77.040.99 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委
中国科学院半导体研究所
陈涌海赵有文提刘旺王元立
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