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吸气剂气体吸放性能测试方法
2025-05-29
微析研究院
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国家标准
国家标准《吸气剂气体吸放性能测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。
主要起草单位南京华东赛斯真空材料有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究所、中国电子科技集团第十二研究所。
主要起草人薛函迎 、张巨先 、郭卫斌 、刘筠 。
标准号：GB/T 25497-2010发布日期：2010-12-01实施日期：2011-05-01全部代替标准：GB/T 9506.7-1988,GB/T 9506.5-1988,GB/T 9506.4-1988,GB/T 6626.3-1986,GB/T 9506.8-1988标准类别：方法中国标准分类号：L90国际标准分类号：31.030 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委
南京华东赛斯真空材料有限公司中国电子科技集团第十二研究所工业和信息化部电子工业标准化研究所
薛函迎张巨先郭卫斌刘筠
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